可移动洁净棚

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风机从FFU顶部将空气吸入,经初效过滤器,高效过滤器过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/+20%的风速匀速送出到深圳无尘棚内。形成均流层,使洁净空气气流呈垂直单向流,从而保证了工作区内所要求的洁净度。
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